不論是羅卓尼克傳感器,還是維薩拉、密析爾的壓力傳感器都是一種單片壓阻器件,該器件具有3類(lèi):
1. 根本的或未加補(bǔ)償標(biāo)定;
2. 有標(biāo)定并停止溫度補(bǔ)償;
3. 有標(biāo)定、補(bǔ)償和放大。
偏移量、范圍標(biāo)定、溫度補(bǔ)償均能夠由薄膜電阻網(wǎng)絡(luò)完成,該薄膜電阻網(wǎng)絡(luò)在封裝過(guò)程采用激光修正。
傳感器通常與微控制器分開(kāi)運(yùn)用,而微控制器的嵌入軟件自身樹(shù)立了傳感器數(shù)學(xué)模型。微控制器讀取了輸出電壓后,經(jīng)過(guò)模數(shù)轉(zhuǎn)換器的變換,該模型能夠?qū)㈦妷毫哭D(zhuǎn)換為壓力丈量值。
傳感器簡(jiǎn)單的數(shù)學(xué)模型即為傳送函數(shù)。該模型可在整個(gè)標(biāo)定過(guò)程中停止優(yōu)化,并且模型的成熟度將隨標(biāo)定點(diǎn)的增加而增加。
從計(jì)量學(xué)的角度看,丈量誤差具有相當(dāng)嚴(yán)厲的定義:它表征了丈量壓力與實(shí)踐壓力之間的差別。而通常無(wú)法直接得到實(shí)踐壓力,但能夠經(jīng)過(guò)采用恰當(dāng)?shù)膲毫σ?guī)范加以估量,計(jì)量人員通常采用那些精度比被測(cè)設(shè)備高出至少10倍的儀器作為丈量規(guī)范。
由于未經(jīng)標(biāo)定的系統(tǒng)只能運(yùn)用典型的靈活度和偏移值將輸出電壓轉(zhuǎn)換為壓力,測(cè)得的壓力將誤差。
這種未經(jīng)標(biāo)定的初始誤差由以下幾個(gè)局部組成:
a. 偏移量誤差。由于在整個(gè)壓力范圍內(nèi)垂直偏移堅(jiān)持恒定,因而變換器擴(kuò)散和激光調(diào)理修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。
b. 靈活度誤差,產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。假如設(shè)備的靈活度高于典型值,靈活度誤差將是壓力的遞增函數(shù)(見(jiàn)圖1)。假如靈活度低于典型值,那么靈活度誤差將是壓力的遞加函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生緣由在于擴(kuò)散過(guò)程的變化。
c. 線性誤差。這是一個(gè)對(duì)初始誤差影響較小的要素,該誤差的產(chǎn)生緣由在于硅片的物理非線性,但關(guān)于帶放大器的溫濕度傳感器,還應(yīng)包括放大器的非線性。線性誤差曲線能夠是凹形曲線,也能夠是凸形曲線。
d. 滯后誤差:在大多數(shù)情形中,滯后誤差完整能夠疏忽不計(jì),由于硅片具有很高的機(jī)械剛度。普通只需在壓力變化很大的情形中思索滯后誤差。
徽科特標(biāo)定可消弭或極大地減小這些誤差,而補(bǔ)償技術(shù)通常請(qǐng)求肯定系統(tǒng)實(shí)踐傳送函數(shù)的參數(shù),而不是簡(jiǎn)單的運(yùn)用典型值。電位計(jì)、可調(diào)電阻以及其他硬件均可在補(bǔ)償過(guò)程中采用,而軟件則能更靈敏地完成這種誤差補(bǔ)償工作。